Chemo Pads série CMP

Les pads chimiques ou ‘Chemo Pads’ sont composés d'une structure en polyuréthane à pores ouvertes, qui a été développée afin de permettre un polissage chimique optimal, par exemple avec du dioxyde de silicium. Partiellement, ils fournissent également des résultats optimaux avec des agents de polissage mécaniques.