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Chemo Pads CMP-Serie

Chemo Pads bestehen aus einer offenporigen Polyurethan-Struktur, die dafür entwickelt ist ein optimales chemisches Polieren, beispielsweise mit Siliziumdioxid, zu ermöglichen. Teilweise liefern sie auch mit mechanischen Poliermitteln optimale Ergebnisse.

FPX2

ABRASIVE

  • CMP-Superfinish
  • Diamantflüssigkeit

EIGENSCHAFTEN

  • glatte, geprägte oder strukturierte Oberfläche
  • sehr gut geeignet zur Bearbeitung von Quarz, Saphir, Siliziumkarbid, verschiedene Kristalle und Halbleitertechnik
  • Dicke 1,2 mm

FHC1

ABRASIVE

  • Diamantflüssigkeit 0,1-1 µ
  • AI2O3 | SiO2

EIGENSCHAFTEN

  • gepuffertes Polyurethan
  • mikroskopische Löcher
  • laminiert
  • Härte: 69 Shore-A
  • Dicke: 1,5 mm

FKC7

ABRASIVE

  • Kolloidale Suspensionen oder Aluminium

EIGENSCHAFTEN

  • chemisch beständig
  • mikroporöses PU-Tuch
  • sehr gute Endpolitur
  • Dicke: 1,5 mm ±0,05
  • Härte: 66 Shore-A
  • Gewicht: 731 g/m²

Poliertücher

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